無定形結(jié)構(gòu)薄膜在環(huán)境溫度下是穩(wěn)定的。它既包含有不規(guī)則的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)(玻璃態(tài))，也包括隨機(jī)密堆積的結(jié)構(gòu)。前者主要出現(xiàn)在氧化物薄膜、元素半導(dǎo)體薄膜和硫化物薄膜之中，后者主要出現(xiàn)在合金薄膜之中。可以認(rèn)為，不規(guī)則的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)是兩種互相貫通的隨機(jī)密堆積結(jié)構(gòu)組成。用衍射法研究時，這種結(jié)構(gòu)在X射線衍射譜圖中呈現(xiàn)很寬的散射峰，在電子衍射圖中則顯示出很寬的彌散形光環(huán)。