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技術文章

Monte Carlo模擬薄膜生長的模型

模型的建立
    薄膜沉積過程是一個非常復雜的物理化學變化過程。薄膜生長的整個過程不僅涉及到晶粒的生長、晶粒間的相互作用、邊界運動等因素的機理,也涉及空間填補的拓撲幾何機理。因此,要對此進行實際真實的模擬是不可能的,只能是針對研究的目的,建立合適的理想模型,以此了解微觀世界所發生的事件。采用Monte Carl。模擬方法來考察粒子沉積在基體表面發生的隨機過程。