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技術文章

薄膜的電學性質

    薄膜的電學性質，如電阻率、電阻溫度系數、介電常數等及其與膜厚、外加電場、環(huán)境溫度等的關系直接決定了薄膜在各種實際應用中的性能。金屬薄膜、介質薄膜、半導薄膜和超導體薄膜的電學性質都不一樣。