1.酸性廢氣處理措施。
　　酸性廢氣主要來源于工藝流程中使用各種酸液蝕刻、清洗過程，其主要污染物為氯化氫、氮氧化物等，可以通過設置NaOH堿液噴淋塔吸收系統(tǒng)進行處理，處理裝置對污染物的去除率大于95%，噴淋液為NaOH水溶液。酸廢氣噴淋洗滌塔的噴林液溶液循環(huán)使用，并定期排放至廢水處理站，廢水經處理后再排放。根據(jù)噴淋塔循環(huán)液的pH值補充NaOH溶液。
　　2.堿性廢氣處理措施。
　　堿性廢氣主要來源于光刻工序中使用四甲基氫氧化胺（TMAH）揮發(fā)，主要污染物為TMAH。堿性廢氣通過酸液噴淋吸收系統(tǒng)（吸收液為H2SO4水溶液）進行處理。堿廢氣噴淋洗滌塔的溶液循環(huán)使用，并定期排放至廢水處理站，廢水經處理后再排放。
　　堿性廢氣處理設備對污染物的去除效率大于95%。H2SO4供液裝置通過雙層管道供至酸液噴淋塔H2SO4供液泵系統(tǒng)。根據(jù)噴淋塔循環(huán)液的pH值補充H2SO4。
　　3.有毒廢氣處理措施。
　　有害廢氣（CVD）的處理設備，其凈化效率大于95%，噴淋液為NaOH水溶液。NaOH供液裝置通過雙層管道供至堿液噴淋塔NaOH供液泵系統(tǒng)，并根據(jù)噴淋塔循環(huán)液的pH值補充NaOH。有害廢氣（CVD）噴淋洗滌塔的堿溶液循環(huán)使用，并定期排放，全部納入廢水處理站含氟廢水處理系統(tǒng)處理后再排放。