薄膜層一島結(jié)合生長(zhǎng)模式
層狀一島狀結(jié)合生長(zhǎng)(又稱Stranski-Krastanoy)模式。在最開始一兩個(gè)原子層厚度的層狀生長(zhǎng)之后,生長(zhǎng)模式轉(zhuǎn)化為島狀模式。導(dǎo)致這種模式轉(zhuǎn)變的物理機(jī)制較復(fù)雜,往往在基片和薄膜原子相互作用特別強(qiáng)的情況下,才容易出現(xiàn)這種生長(zhǎng)模式。首先在基片表面生長(zhǎng)1層一2層單原子層,這種二維結(jié)構(gòu)強(qiáng)烈地受到基片晶格的影響,晶格常數(shù)有較大的畸變。然后再在這原子層上吸附入射原子,并以核生長(zhǎng)的方式生成小島,最終形成薄膜。在半導(dǎo)體表面上形成金屬薄膜時(shí),常常是這種層一島生長(zhǎng)型,如在Ge的表面蒸發(fā)Gd,在Si的表面蒸發(fā)Bi,Ag等都屬這種類型。