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技術文章

薄膜的網(wǎng)絡階段

在小島合并為新島的生長過程中,它的形狀變?yōu)閳A形的傾向減小,只是在新島進一步合并的地方才繼續(xù)發(fā)生較大的變形,當島的分布達到臨界狀態(tài)時互相聚結(jié)形成一種網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。在這種結(jié)構(gòu)中不規(guī)則的分布著寬度為50A-200A的溝渠,隨著沉積的繼續(xù)進行,在溝渠中會發(fā)生二次或三次成核,當核長大到與溝渠邊緣接觸時就合并到網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的薄膜上。與此同時,在某些地方,溝渠被聯(lián)成橋形,并以類似液體的形式很快地被填充.其結(jié)果是大多數(shù)溝渠很快被消除,薄膜由溝渠就變?yōu)橛行】锥吹倪B續(xù)狀結(jié)構(gòu)。在這些小孔洞處再發(fā)生二次或三次成核。有些核直接與薄膜合并在一起,有些核長大后形成二次小島,這些小島再合并到薄膜上。

因為核或島的合并都有類似液體的特點。這種特性能使溝渠和孔洞很快消失。*消除高表面曲率區(qū)域,使薄膜的總表面自由能達到最小。