薄膜生長是過程的算法三全表法KMC
在這種方法中,對每一種可能的原子遷移都要枚舉,建立了一個包括各種可能發(fā)生的事件,以及每個事件對應(yīng)的激活能的大表。這是一種比較準(zhǔn)確的方法,但這種方法在具體應(yīng)用中非常復(fù)雜。例如當(dāng)初始位置和目標(biāo)位置各有12個最近鄰時,在遷移過程中總共就要涉及到18個晶位,那么就有218種可能的事件,并要求計算相應(yīng)的概率(還未考慮次近鄰的影響)。因此建立該表非常困難,而且這種方法的通用性不強。
對以上3種算法而言,鍵計數(shù)KMC的適用性更強、更普遍。