現(xiàn)代薄膜分析方法
針對不同的研究對象,常常需要采用不同的研究手段,對于薄膜材料的結(jié)構(gòu)或成分分析的研究也如此。對于早期的光學(xué)涂層薄膜材料,人們對其研究主要涉及薄膜的厚度、均勻性以及它的光學(xué)性能。在電子技術(shù)發(fā)展以后,人們對薄膜的研究相應(yīng)地擴(kuò)展到了薄膜的各種結(jié)構(gòu)特征、成分分布、界面性質(zhì)以及光學(xué)性質(zhì)。目前,隨著薄膜材料運(yùn)用的多樣化,其研究手段和對象也越來越廣泛。特別是在對各種微觀物理現(xiàn)象利用的基礎(chǔ)上,發(fā)展出了一系列新的薄膜結(jié)構(gòu)和成分的分析手段,這為薄膜材料的深人研究提供了現(xiàn)實的可能性。