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技術文章

薄膜面板主要無機廢氣污染物治理技術措施

 1.酸性廢氣處理措施。
  酸性廢氣主要來源于工藝流程中使用各種酸液蝕刻、清洗過程,其主要污染物為氯化氫、氮氧化物等,可以通過設置NaOH堿液噴淋塔吸收系統進行處理,處理裝置對污染物的去除率大于95%,噴淋液為NaOH水溶液。酸廢氣噴淋洗滌塔的噴林液溶液循環使用,并定期排放至廢水處理站,廢水經處理后再排放。根據噴淋塔循環液的pH值補充NaOH溶液。
  2.堿性廢氣處理措施。
  堿性廢氣主要來源于光刻工序中使用四甲基氫氧化胺(TMAH)揮發,主要污染物為TMAH。堿性廢氣通過酸液噴淋吸收系統(吸收液為H2SO4水溶液)進行處理。堿廢氣噴淋洗滌塔的溶液循環使用,并定期排放至廢水處理站,廢水經處理后再排放。
  堿性廢氣處理設備對污染物的去除效率大于95%。H2SO4供液裝置通過雙層管道供至酸液噴淋塔H2SO4供液泵系統。根據噴淋塔循環液的pH值補充H2SO4。
  3.有毒廢氣處理措施。
  有害廢氣(CVD)的處理設備,其凈化效率大于95%,噴淋液為NaOH水溶液。NaOH供液裝置通過雙層管道供至堿液噴淋塔NaOH供液泵系統,并根據噴淋塔循環液的pH值補充NaOH。有害廢氣(CVD)噴淋洗滌塔的堿溶液循環使用,并定期排放,全部納入廢水處理站含氟廢水處理系統處理后再排放。